SF6抽真空填充设备的工作原理

一、前期准备与管路连接阶段

设备启动前，先通过专用高压软管，将设备的真空接口、充气接口分别与被充 SF6 电气设备的气室接口可靠连接，同时将 SF6 气瓶与设备的充气进气口对接，检查所有阀门处于关闭状态，确认管路无泄漏、接口密封完好。此阶段为后续抽真空和充气建立密闭通路，避免气体泄漏或空气混入，是保障操作安全与气体纯度的基础。

二、抽真空阶段（核心除杂步骤）

1. 开启设备控制系统，设定目标真空度（通常需达到 1.33×10⁻¹Pa 及以下，满足高压电气设备真空标准），打开真空管路阀门，启动真空泵组（含旋片真空泵 + 罗茨真空泵，提升抽真空效率与极限真空度）。

2. 真空泵运行时，通过管路抽取被充设备气室内的空气、水分、残留杂质气体，气体经真空泵排气口排出（或经净化处理），真空计实时监测气室真空度，数据同步反馈至控制系统。

3. 当真空度达到设定值后，设备自动停止真空泵，关闭真空管路阀门，保持气室真空状态（防止空气回流），必要时可进行真空保压（静置数小时），确认真空度无明显回升，判断气室密封良好、无泄漏，完成除杂预处理。

三、SF6 气体净化与填充阶段

1. 打开 SF6 气瓶阀门与设备充气管路阀门，SF6 气体在气瓶压力作用下进入设备内部，先通过干燥过滤器、分子筛净化装置，去除气体中的水分、油分、颗粒杂质，确保填充气体纯度≥99.99%（符合电力行业标准）。

2. 净化后的 SF6 气体经充气管路进入被充设备气室，设备内置精密压力表、压力传感器实时监测充气压力，控制系统根据预设额定压力（如 GIS 气室 0.6MPa、断路器 0.45MPa，依设备型号而定）自动调节充气速度。

3. 当气室压力达到额定值时，控制系统自动关闭充气阀门与 SF6 气瓶阀门，停止充气，避免过充导致设备内部压力超标，同时防止气体浪费。

四、保压查漏与收尾阶段

1. 充气完成后，关闭所有管路阀门，断开设备与被充设备的连接（或保持连接），观察气室压力变化，进行保压测试（通常保压 24 小时），若压力无明显下降（波动≤0.01MPa），说明气室密封合格，无 SF6 气体泄漏。

2. 若压力下降超标，设备可配合检漏仪（如卤素检漏仪）辅助排查泄漏点，处理后重新抽真空、充气，直至保压合格。最后清理管路、整理设备，完成整个抽真空填充操作，确保被充 SF6 电气设备满足投运条件